Warning: Undefined array key "category" in /var/www/02search_html/bin/summary.php on line 35

Warning: Undefined variable $STR_top_url in /var/www/02search_html/bin/__base_html.php on line 883
IEICE Trans - シングルダマシンCu配線におけるパルス電流下のエレクトロマイグレーション挙動

シングルダマシンCu配線におけるパルス電流下のエレクトロマイグレーション挙動

横川　慎二

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J88-C    No.4    pp.253-260
発行日: 2005/04/01
Online ISSN: 
DOI: 
Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 論文
専門分野: 電子部品
キーワード: 
エレクトロマイグレーション,  シングルダマシンCu配線,  パルス電流,  effective incubation time,  ドリフト速度,  

本文: PDF(334.5KB)>>
論文を購入


あらまし: 
シングルダマシンCu配線において，パルス電流下のエレクトロマイグレーション挙動を調査した．パルス電流のもとでは，10 μsの時定数をもつ，ダメージ緩和現象が観測された．これにより，ドリフト速度の減少，及びeffective incubation timeの増加が発生する．エレクトロマイグレーション誘起応力こう配によるバックフロー効果は，電流波形によらず一定である．また，ドリフト速度の活性化エネルギーも約0.89 eVで一定である．