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IEICE Trans - 平面回路評価の高精度化を実現するプローブの制御技術

平面回路評価の高精度化を実現するプローブの制御技術

坂巻　亮
堀部　雅弘

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J102-C    No.6    pp.212-217
発行日: 2019/06/01
Online ISSN: 1881-0217
DOI: 
論文種別: 招待論文
専門分野: 電子計測・制御
キーワード: 
オンウエハ計測,  Sパラメータ,  高周波プローブ,  不確かさ,  測定技術,  

本文: FreePDF(613.7KB)
あらまし: 
5G通信に代表される通信技術の発展から，平面回路のミリ波帯利用が進んでいる．従来のマイクロ波帯と比べ，ミリ波帯では波長が短くなるため，十分な測定再現性を得るためには，より高度な評価技術が求められる．平面回路の評価にはプローブを用いた測定手法が用いられる．本論文では，平面回路の評価における測定再現性を高める測定技術を提案する．当該測定系の測定不確かさの解析を行い，その解析結果を踏まえて高精度なプローブ位置の制御技術を開発した．本論文ではその技術の概要と190 GHz〜340 GHzでの実証実験について述べる．開発したプローブ位置の制御技術により，測定再現性はおおむね2〜10倍改善した．