共スパッタ法を用いたAu添加Ta2O5薄膜の作製とその光学特性の評価

伊藤 開  橋本 祐也  三浦 健太  野口 克也  加田 渉  花泉 修  

誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
早期公開日: 2020/08/20
DOI: 10.14923/transelej.2020PJF0001
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