あらまし
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エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用 山根 大輔 サン ウィンストン 川崎 繁男 藤田 博之 年吉 洋 誌名 電子情報通信学会論文誌 C Vol.J95-C No.10 pp.219-227 発行日: 2012/10/01 Online ISSN: 1881-0217 DOI: Print ISSN: 1345-2827 論文種別: 論文 専門分野: 機構デバイス キーワード: マイクロ波, コプレーナ導波路, RF-MEMS, SOIウェーハ, バルクマイクロマシニング, 本文: PDF(1.7MB)>>
あらまし: 本論文では，挿入損の低下とデバイス面積の小型化に有用なエア分離コプレーナ導波路について電磁界シミュレーションを行い，また，実際にMEMS（Micro electro mechanical systems）技術で作製した導波路の測定により，その有効性を検証した結果を報告する．信号線と接地面との間を空気で絶縁したエア分離コプレーナ導波路では，通常型コプレーナ導波路のように情報伝搬を担う高周波信号（RF：Radio frequency）の電界分布が誘電体内へ浸透する割合が少なく，導波路近傍の空気中に電界を閉じ込める効果が確認できた．この結果，従来設計よりも小さな占有面積内で作製した導波路においても，挿入損やアイソレーションの点でより優れたRF特性を示すことが明らかになった．また，本研究のエア分離コプレーナ導波路と静電駆動型マイクロアクチュエータを組み合わせることにより，機械的に導波路を駆動可能なRF-MEMSスイッチや可動導波路型の移相器などの様々なRF-MEMS受動素子の設計に応用可能であることを示した． | |||||
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