Si基板上に形成された光導波路の漏れ損失

山内 潤治  藤田 裕次  柴山 純  中野 久松  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J88-C   No.4   pp.283-285
公開日: 2005/04/01
Online ISSN: 
DOI: 
Print ISSN: 1345-2827
論文種別: ショートノート
専門分野: 
キーワード: 
平面光回路,  漏れ損失,  ビーム伝搬法,  摂動法,  等価屈折率法,  

本文: PDF(197.1KB)>>
論文を購入




あらまし: 
高屈折率のSi基板上に形成された光導波路の漏れ損失を種々の手法を用いて解析する.更に,クラッドと基板の間に低屈折率の SiO2膜を挿入した場合の損失低減効果を明らかにする.