エリプソメトリー法を用いたミリ波帯における複素誘電率及び複素透磁率の同時測定法に関する検討

山崎 貴昭  酒井 泰二  続山 浩二  橋本 修  

誌名
電子情報通信学会論文誌 B   Vol.J88-B   No.8   pp.1532-1538
発行日: 2005/08/01
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Print ISSN: 1344-4697
論文種別: 論文
専門分野: 電磁環境・EMC
キーワード: 
エリプソメトリー法,  同時測定,  複素比誘電率,  複素比透磁率,  ミリ波帯,  

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あらまし: 
ミリ波帯において,複素比誘電率を測定する方法の一つとしてエリプソメトリー法がある.この方法はTM波とTE波の反射係数の比を測定することにより,複素比誘電率を測定する方法であり,試料位置の不確かさに起因する位相角度誤差が発生しない等の利点を有する.本論文では,このエリプソメトリー法を用いて,複素比誘電率と複素比透磁率を同時に測定する方法を検討した.検討では,5種類の測定条件を変える方法を提案し,理論検討により測定誤差を少なくできると推測される裏面条件を変化させる測定法を選択し,実験的に検討を行うことによりその有効性を確認した.