液晶ディスプレイ用ポリシリコン薄膜のラマン分光

北原 邦紀  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J87-C   No.6   pp.503-513
公開日: 2004/06/01
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Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 解説論文
専門分野: 
キーワード: 
ポリシリコン,  ラマン,  欠陥,  応力,  評価,  

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あらまし: 
顕微レーザラマン分光法を用いた半導体薄膜の評価技術を紹介する.特に液晶ディスプレイ用ポリシリコン(poly-Si)を評価の対象とする.この方法は,簡便・非破壊・微小領域評価などの特徴をもち,研究・開発・製造の現場で広く用いられている.光学モード(~520 cm-1)を検出して,そのピーク周波数と半値幅から薄膜内の応力と欠陥を解析する.マッピング測定すると,均一性や応力・欠陥分布などの情報も得られる.水素化処理により現れる局在振動子モード(~2000 cm-1)を用いると欠陥を直接検出でき,それらの種類も識別できる.これらの評価手法の適用例として,出発膜であるアモルファスシリコン,高温poly-Si,エキシマレーザや連続発振レーザにより結晶化した低温poly-Siに対する結果を示す.