磁気力顕微鏡による磁気再生ヘッドの破壊過程観察

阿部　真之
田中　陽一郎

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J87-C    No.5    pp.480-486
公開日: 2004/05/01
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DOI: 
Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 論文
専門分野: 記録・記憶技術
キーワード: 
磁気力顕微鏡,  磁気再生ヘッド,  磁気記録,  ESD破壊,  

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あらまし: 
磁気力顕微鏡（MFM）を応用した，磁気再生ヘッドを空間分解能で評価できるMagnetoresistive Sensitivity Mapping（MSM）法を用いて，磁気再生ヘッドが破壊される過程を観察した．磁性体探針を共振周波数で振動させ再生素子の応答を同期検波することで，再生素子の磁界の感度だけでなく，感度の応答反転や感度ひずみなどに対応する物理量を測定できるようにした．破壊過程の観察は，磁気再生ヘッドへ過電流を印加した場合と，金属棒の電極への接触による場合で行った．MSMの測定データとスピンスタンドの測定結果に相関関係があることを見出した．