厚いAlグレーティング構造を有するラブ波/レイリー波型SAW共振器

礒部 敦  疋田 光孝  浅井 健吾  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J87-C   No.11   pp.962-968
公開日: 2004/11/01
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Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
SAWラブ波,  VCOスプリアス,  広帯域,  

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あらまし: 
ニオブ酸リチウム圧電基板上の厚いAlグレーティング構造を伝搬するラブ波型SAWは,極めて容量比γ(=3.0)の小さい共振特性を示すが,レイリー波と複雑に弾性結合する.共振器に適用した場合,レイリー波はスプリアスとなるため,十分に抑圧する必要がある.VCO用広帯域SAW共振器の開発を目的に,このラブ波/レイリー波の伝搬/反射特性を解析した.その結果,(1)ラブ波/レイリー波ともに,極めて広い反射帯域を有する,(2)2種類のレイリー波スプリアスが共振特性に出現する,(3)ラブ波よりレイリー波のストップバンドの方が反射特性に優れることを,シミュレーションと実験により明らかにした.また,Al膜厚を最適化し,レイリー波のストップバンド内をVCO発振周波数とすることにより,広帯域SAW-VCOが実現できることを実験により示した.