LSIテスティングの最近の動向

中前 幸治  藤岡 弘  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J86-C   No.2   pp.103-114
公開日: 2003/02/01
Online ISSN: 
DOI: 
Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 解説論文
専門分野: 
キーワード: 
LSIテスティング,  検査,  評価,  故障診断,  故障解析,  

本文: PDF(675.2KB)>>
論文を購入




あらまし: 
LSIテスティング(検査・評価・解析手法,及び装置)の最近の動向が,大阪にて毎年開催されているLSIテスティングシンポジウムの最近の講演内容を中心にして,設計,ウェーハ処理工程,ウェーハ処理工程後のテスト工程の各段階に分類して解説されている.