重い電極/水晶基板構造の超小形なSH型LSAWデバイス

門田 道雄  米田 年麿  藤本 耕治  中尾 武志  高田 英一  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J86-C   No.11   pp.1151-1159
公開日: 2003/11/01
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Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
重い電極,  SH型LSAW,  水晶,  超小形,  共振子型フィルタ,  

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あらまし: 
STカット水晶基板上をX軸と垂直な方向に波が伝搬するように,密度の大きい金属からなるすだれ状電極を構成にすることにより,減衰のない漏洩弾性表面波(LSAW)が励振される.この波は,Shear Horizontal (SH)成分だけをもち,良好な温度特性,大きな電気機械結合係数と反射係数をもつことを見出した.このSH型LSAWを共振子やフィルタに適用したところ,少ないIDT対数(従来の1/10)と小さい反射器(従来の1/35)とでデバイスを構成できたため,従来のSXカットX伝搬水晶基板上のレイリー波デバイスに比べ,面積比で1/4から1/5という非常に小さな共振子や共振子フィルタを実現できた.