エリプソメトリー法を用いたミリ波帯における複素誘電率測定に関する基礎検討

酒井 泰二  続山 浩二  山崎 貴昭  橋本 修  

誌名
電子情報通信学会論文誌 B   Vol.J86-B   No.5   pp.846-849
発行日: 2003/05/01
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Print ISSN: 1344-4697
論文種別: レター
専門分野: 
キーワード: 
エリプソメトリー法,  ミリ波帯,  複素誘電率,  

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あらまし: 
本研究では,エリプソメトリー法に着目し,この方法を応用してミリ波帯における,複素誘電率の測定法を確立するため,種々の誤差検討や測定における精度等に関する検討を行った.