ラマン分光を用いたTFT-LCD用ポリシリコンの評価

北原 邦紀  野木 博行   亮介  長友 正文  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J85-C   No.8   pp.651-658
公開日: 2002/08/01
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Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
液晶ディスプレイ,  ポリシリコン,  ラマン,  欠陥,  応力,  

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あらまし: 
液晶ディスプレイパネルに用いられる低温ポリシリコン薄膜の評価技術を述べる.ラマン散乱分光は非破壊的手法で大面積パネルに適用できるため,評価によく用いられる.しかし解析は容易でない.光学フォノンモードに関しては,ピーク周波数と半値幅(FWHM)がそれぞれ応力と欠陥密度を反映する.FWHM>8 cm-1では微結晶の効果が無視できなくなることに注意が必要である.高解像度のマッピング測定によりレーザ結晶化に対してより詳細な情報が得られる.局在振動子モード(LVM)を測定すると,ダングリングボンドを終端する水素原子の結合配置が識別できる.低損傷水素化技術を併用するとLVMを通して各種の欠陥に関する情報が得られる.