近接場光学PSTMイメージングシミュレーション-誘電体プローブと金属コーティング開口プローブとの比較-

吉田 貴博  田中 嘉津夫  田中 雅宏  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J85-C   No.3   pp.141-149
公開日: 2002/03/01
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Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 論文
専門分野: 電磁界理論
キーワード: 
近接場光学,  フォトン走査型トンネル顕微鏡,  金属コーティング開口プローブ,  シミュレーション,  境界積分方程式,  境界要素法,  

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あらまし: 
本論文では,導波モード分離型積分方程式に基づく境界要素法を用いた2次元フォトン走査型トンネル顕微鏡(PSTM)シミュレーションコードを作製し,プローブが誘電体プローブ,金属コーティング開口プローブ,及び観測物体が複数の誘電体,金属の場合のイメージングシミュレーションを行った.シミュレーションでは.入射TE波(s偏光)のCollectionモードプローブ内導波モードの透過係数,入射TE基本モードIlluminationモード反射係数を求め,プローブ走査を行いそれぞれのモードでの出力像と観測物体の関係を調べた.その結果,金属コーティング開口プローブを用いると,出力像コントラストは減少し,干渉パターンの影響は大きくなるが,誘電体プローブの場合に比べ出力像におけるイメージング特性が改善できることを示した.