流体式角速度センサにおける流路精度の解析

斎藤 和敬  小松 五郎  加藤 清  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J84-C   No.7   pp.599-604
公開日: 2001/07/01
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Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 論文
専門分野: 機構デバイス
キーワード: 
結晶異方性エッチング,  角速度センサ,  シミュレーション,  マイクロマシン,  

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あらまし: 
本論文では,流体式角速度センサをSiの結晶異方性エッチングを利用して流路形成する場合におけるSiの結晶方位とエッチングマスク方位のずれがセンサ特性に与える影響を明確にした.一般に結晶異方性エッチングを用いる場合,ウエーハの結晶方位とエッチングマスクとの間の回転ずれはエッチング形状に影響を与えるため,極力方位を合わせる必要があると考えられる.しかしながら,回転ずれがエッチング形状に与える影響度合は不明確であり,更にはセンサ特性への関連付けがされていなかったため,必要十分な方位合せ精度が得られていなかった.ここでは,シミュレーションによりその影響を具体化し流体式角速度センサの精度確保のために必要な角度精度を定量化した.