液晶ディスプレイ用リソグラフィー技術の現状

小澤 眞二  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J84-C   No.12   pp.1227-1231
公開日: 2001/12/01
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Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 解説論文
専門分野: 
キーワード: 
液晶露光装置,  タクトタイム,  LCD,  ガラスサイズ,  アモルファスシリコンTFT,  オーバラップ技術,  スキャニング露光,  生産性,  

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あらまし: 
液晶ディスプレイ用露光装置は特に「生産性改善」を主眼に開発が進められてきた.その生産性改善には 1)ステージ速度を高速化することによりタクトタイムを短縮する, 2)1回の露光領域を広げることにより露光回数を減少させること, 3)ガラス基板を大きくして多面取りできるようにすることである.本論文では,新たに"スキャニング技術"と"オーバラップ技術"を組み合わせることによって800×950mmの大きなガラス基板を70秒タクトで生産できる液晶ディスプレイ用露光装置"FX-21S"について記載し,リソグラフィー技術の技術を報告する.