電圧制御発振器用グレーティングモード型SAW共振器の作製法－電極指の最適形状と作製プロセスの高精度化の検討－

浅井　健吾  疋田　光孝  礒部　敦  住岡　淳司  多田　剛  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J83-C   No.8   pp.689-697
公開日: 2000/08/25
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Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
SAW共振器,  電圧制御発振器,  グレーティングモード,  フォトリソグラフィ,  Al電極,  

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あらまし: 
高C/N,広帯域VCOに用いる比帯域幅が極めて大きい15°YX-LiNbO3のグレーティングモード型SAW共振器の最適な電極指形状を明らかにした．SAW共振器はレイリー波によるスプリアス応答等を完璧に抑圧する必要があるが，そのインピーダンス特性は電極指線幅，電極指膜厚の変動に対して極めて敏感である．電極指の膜厚と線幅の仕様をシミュレーションと実験から求め，電極指膜厚にはh/λ0=0.1325，相対電極指線幅比にはL/(L+S)=0.575を基準とし，それらの変動分を厳しく抑える加工精度が要求されることを示した．170MHzと420MHz帯の業務用無線端末への適用を想定し，電極指仕様を満足するためのプロセス高精度化の検討を行った．電極指膜厚の厚い本SAW共振器においては，フォトレジスト工程に反射防止膜を導入し，電極指材料にはAl-Cu合金を用いることで良好なインピーダンス特性が得られることを示した．本SAW共振器を用いたVCOは上記無線端末の仕様を満足した．