平面実装光モジュール用鏡面反射型フォトダイオード

加藤 昌伸  古川 量三  寺嶌 宗弘  高野 紘  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J83-C   No.3   pp.190-196
公開日: 2000/03/25
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Print ISSN: 1345-2827
論文種別: 論文
専門分野: レーザ・量子エレクトロニクス
キーワード: 
端面受光,  フォトダイオード,  光軸ずれトレランス,  平面実装,  

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あらまし: 
光モジュールの低コスト化に向けて,平面実装光モジュールの開発が活発に進められている.この平面実装光モジュール向けとして最適と言われているのが素子端面で受光する端面受光型のフォトダイオード(Photo Diode:PD)である.我々は,この端面受光型のPDに鏡面反射構造を採用した.鏡面反射構造では,素子端面に入射した光が素子底面に形成したV溝順メサ面で反射し,受光部で吸収される.この構造を採用することにより,シングルモードファイバ(Single Mode Fiber:SMF)との光軸ずれトレランスを大きくすることが容易になり,かつ偏波依存性も低く抑えられた.今回は,受光部幅とV溝深さが光軸ずれトレランス特性に与える影響について調査した結果を報告する.