液晶注入シミュレーションモデルの構築

玉谷 晃  田畑 伸  松川 文雄  椋田 宗明  三谷 徹男  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J82-C2   No.6   pp.303-307
発行日: 1999/06/25
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Print ISSN: 0915-1907
論文種別: 論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
液晶注入,  真空注入法,  シミュレーション,  パネルギャップ,  

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あらまし: 
液晶注入時間短縮化の指標を得るため,2次元非圧縮性Stokes流れに基づいた注入シミュレーションモデルを構築し,その妥当性を検討した.この結果,このモデルを用いると,セルギャップなどのパネルパラメータ変化が注入時間に及ぼす影響を予測できることが明らかになった. しかし,注入時間の絶対値に関しては実測値と異なっていた.注入時間を予測するため,注入時間に影響すると予想されるパネル変形によるギャップ変動,TFT基板の表面形状,表面張力の三つの要因を考慮してシミュレーションモデルの改善を行った.この結果,注入時間の予測精度が向上した.また,これらの検討から,注入中のパネルギャップ変形が注入時間に支配的に影響を及ぼすことが明らかとなった.