結晶異方性エッチング解析システムMICROCAD の開発

佐藤 一雄  浅海 和雄  小林 元  入江 康郎  式田 光宏  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J82-C2   No.3   pp.84-91
発行日: 1999/03/25
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DOI: 
Print ISSN: 0915-1907
論文種別: 特集論文 (マイクロマシン関連技術論文小特集)
専門分野: 
キーワード: 
結晶異方性エッチング,  エッチング速度,  データベース,  シミュレーション,  CAD,  

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あらまし: 
複雑な3 次元構造をもつマイクロマシンデバイスの加工プロセス設計を支援するツールとして,結晶異方性エッチング解析システムMICROCAD を開発した.このシステムは,被加工材であるシリコン単結晶の全方位のエッチング速度をデータベースとして備えることにより,任意の結晶方位をもつウェーハ,任意のマスクパターンに対して,3 次元エッチングプロフィルの時間的変化を解析する機能をもつ.全方位に対するエッチング速度の測定方法,解析システムの構成,3 次元エッチングプロフィルの計算方法について述べた.本システムの適用例として,補償マスクパターンの設計,ウェーハを貫通してなお進行するエッチング形状の解析,多段階エッチングプロセスの工程設計の例を示し,このシステムの工程設計における有効性を論じた.