多層膜回折格子における平面波回折問題の T-matrix法解析

対馬 正宏  舘野 浩彰  大木 眞琴  上崎 省吾  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J82-C1       pp.139-142
発行日: 1999/03/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 専門分野: 
キーワード: 
多層膜回折格子,  T-matrix法,  R-matrix伝搬則,  規格化回折電力,  エネルギー誤差,  

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あらまし: 
多層膜回折格子の平面波回折問題をR-matrix伝搬則を用いたT-matrix法により解析している.T-matrix法の弱点の一つである層厚の大きさによる数値計算の発散を解決しており,数値計算例において,十分な精度のもとで数値計算が可能であることを示した.