20°以上の分離角を有する積層形偏光分離素子用光学多層膜の低損失化

室 幸市  白石 和男  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J82-C1   No.12   pp.824-825
発行日: 1999/12/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: レター論文
専門分野: 
キーワード: 
積層形偏光分離素子,  多結晶シリコン,  多層膜,  偏光,  スパッタリング,  

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あらまし: 
多結晶シリコンと石英からなり,20°以上の大きな偏光分離角をもつ積層形偏光分離素子用の多層膜の低損失化を検討した.吸収と散乱による損失を低減できる最適成膜パラメータを見出し,0.24dB/100μmの低損失多層膜を得た.