RFマグネトロンスパッタ法で成膜したチタン酸鉛(PbTiO3)の特性

三須 幸一郎  永塚 勉  和高 修三  山田 朗  前田 智佐子  田治米 徹  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J82-C1   No.12   pp.769-776
発行日: 1999/12/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 特集論文 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
専門分野: 材料
キーワード: 
チタン酸鉛,  圧電薄膜,  薄膜圧電共振器,  

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あらまし: 
本論文は,RFマグネトロンスパッタ法を用いて成膜したチタン酸鉛の特性について述べたものである.従来から圧電薄膜として,酸化亜鉛や窒化アルミニウムが広く用いられている.これに対して,鉛系圧電セラミックスは大きな電気機械結合係数を期待できるので,薄膜圧電素子の材料として有望である.本論文では,半導体基板上に下部電極として一様な白金電極を形成し,その上にRFマグネトロンスパッタ法によりチタン酸鉛薄膜を形成して共振器を試作した.試作共振器は1.4GHzで共振を示し,実効的な電気機械結合係数k2が約12%,Q値が約60の特性を示し,試作したチタン酸鉛薄膜に良好な圧電性があることを確認した.