酸化亜鉛圧電膜と水晶基板を組み合わせた弾性表面波特性

門田 道雄  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J82-C1   No.12   pp.706-714
発行日: 1999/12/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 招待論文 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
ZnO膜,  水晶,  レイリー波,  LSAW高次モード,  良好なTCF,  電気機械結合係数,  

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あらまし: 
酸化亜鉛圧電膜(ZnO)と下地の基板とを組み合わせることで,種々の特徴あるデバイス を実現することができる.本論文では(1)ZnO膜とSTカット35°X伝搬水晶と を組み合わせることで,パワーフロー角ゼロで,大きな電気機械結合係数 (ks2=0.01~0.012:STカットX伝搬水晶の7~8.5倍の値)と良好な周波数温度特性(TCF1ppm/℃)をもつレイリー 弾性表面波用基板の実現,(2) STカット90°X伝搬水晶とを組み合わせる ことで高音速で周波数温度特性の良好な漏洩弾性表面波(LSAW)の高次モードの励振の 実現について報告する.