有限要素-解析解結合法による新モード型SAWの探索とその移動通信用デバイスへの応用

礒部 敦  疋田 光孝  浅井 健吾  住岡 淳司  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J82-C1   No.12   pp.697-705
発行日: 1999/12/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 招待論文 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
有限要素法,  SAW,  縦波型漏洩SAW,  ラブ波,  グレーティングモード,  VCO,  

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あらまし: 
有限要素-解析解結合法を用いたシミュレーションと実験により,2種類の新モード型SAWの検討を行った.はじめに171°YZ'-LiNbO3において,波長換算Al膜厚0.084のグレーティング構造に,高音速,高Qの縦波型漏洩SAWが存在することを明らかにした.音速は6100~6500m/s,Q値は共振/反共振点共に4000以上(計算値)と優れた特性を有し,高周波SAWデバイスに適する.次に,15°YX-LiNbO3において,波長換算Al膜厚0.125のグレーティング構造に,横波型のグレーティングモードSAWが存在することを明らかにした.k2が28.5%と非常に大きな値を有し,電圧制御発振器用SAW共振器に適している.本SAWを用いて,移動通信用400MHz帯と170MHz帯SAW-VCOを試作した.400MHz帯では,周波数可変幅54MHz(3.2%/V),位相雑音<-115dBc/Hz@25kHz,170MHz帯では,24MHz(3.4%/V),<-126dBc/Hz@25kHzと優れた特性を得た.