圧電セラミックデバイスの展望

藤島 啓  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J82-C1   No.12   pp.683-688
発行日: 1999/12/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 解説論文
専門分野: 
キーワード: 
圧電材料,  圧電セラミックス,  デバイス,  薄膜,  

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あらまし: 
圧電セラミックデバイス発展の過去,現在,未来を展望し, 各種圧電材料と圧電セラミックスの特性を比較検討し,バルク波と表面波 デバイスに分けて代表的な応用を紹介し,その未来を予測した.特に近い 将来に急速に発展すると思われる薄膜圧電材料は多結晶セラミックスであ るという視点から,その発展方向について考察した.