シリコン窒化膜による反射防止膜の光学的評価

柴田 登  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J81-C2       pp.455-457
発行日: 1998/04/25
Online ISSN: 
DOI: 
Print ISSN: 0915-1907
論文種別: 専門分野: 
キーワード: 
太陽電池,  反射防止膜,  シリコン窒化膜,  プラズマCVD法,  スペクトル応答,  

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あらまし: 
一般に太陽電池セルには反射防止膜が形成され太陽光を有効に利用している.今回,反射防止膜のスペクトル応答の一測定法として,白熱灯と光検出器の利用により簡単に測定ができたのでその測定法について報告する.