3次元BPMによる高結合効率スポットサイズ変換レーザ(SS-LD)の設計

横山 清行  関野 直子  廣野 卓夫  東盛 裕一  川口 悦弘  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J81-C1   No.6   pp.339-346
発行日: 1998/06/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 論文
専門分野: 光エレクトロニクス
キーワード: 
スポットサイズ変換,  SS-LD,  BPM,  結合効率,  結合損,  FFP,  

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あらまし: 
光モジュールとしての組立てコストを低減するために高結合効率実現可能なスポットサイズ変換機能をもつ高温高出力特性の1.3μm帯SS-LDについて,結合特性の検討を行った.我々はレーザ特性として高温での高出力性能という厳しく性能を保ち,高性能なスポットサイズ変換機能を有するという二つの性能を同時に実現させるために,それぞれが独立して最適化できるバットジョイント型のSS-LDを取り上げた.その結合効率を改善する導波路設計手段として,pn埋込み形状,組成が伝搬方向に変化する構造に対して柔軟に対処可能な3次元BPMを用いた.選択成長技術を用いてこの導波路を形成することを前提として,導波路組成やメサ幅加工精度などのプロセス条件を緩和し,かつ結合効率が高い設計(結合損2dB以下)について議論した.