レーザリペア技術を用いたTFT-LCDの無点欠陥化

鵜飼 育弘  安居 勝  湯川 禎三  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J80-C2   No.2   pp.85-86
発行日: 1997/02/25
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Print ISSN: 0915-1907
論文種別: レター論文
専門分野: 
キーワード: 
TFT,  リペア,  レーザカット,  レーザウェルド,  蓄積容量,  

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あらまし: 
TFT製造工程において点欠陥が発生した場合のリペア方法について提案した.絶縁膜のピンホールに起因する付加容量部分のショートによる点欠陥は,付加容量分割レーザリペア(カット&ウェルド)方式により,正常画素表示にすることが可能である.