プロトン交換による漏洩弾性表面波のバルク波放射の抑圧

垣尾 省司  青山 和史  中川 恭彦  

誌名
電子情報通信学会論文誌 A   Vol.J80-A   No.11   pp.1830-1837
発行日: 1997/11/25
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Print ISSN: 0913-5707
論文種別: 論文
専門分野: 超音波
キーワード: 
プロトン交換,  漏洩弾性表面波,  挿入損,  バルク波放射損,  漏れ損,  

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あらまし: 
本論文では,漏洩弾性表面波(LSAW)の励振時,および伝搬の際に基板内部に放射されるバルク波を,基板表面にプロトン交換層を形成することによって抑圧できることを示している.伝搬路の電気的条件が自由表面であっても,プロトン交換によってLSAWの粒子変位分布が短絡表面の場合と同様に基板表面へ集中することを理論的に明らかにしている.この結果はLSAW励振時のバルク波放射を抑圧できることを示唆している.実際に41°Y-X LiNbO3基板上の入出力IDT間の挿入損を測定することによりバルク波放射損を求めており,プロトン交換によってゼロにまで抑圧できることを明らかにしている.更に伝搬の際のバルク波放射による漏れ損が,プロトン交換によって約1/3に低減することを実験的に明らかにしている.