低寄生インダクタンスプローブを用いたナノヘンリーオーダのインダクタンス実測

清水 浩也  永田 達也  中村 篤  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J79-C2   No.1   pp.8-14
発行日: 1996/01/25
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Print ISSN: 0915-1907
論文種別: 論文
専門分野: 集積エレクトロニクス
キーワード: 
インダクタンス,  インダクタンス測定,  LCRメータ,  LSIパッケージ,  同時切換ノイズ,  

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あらまし: 
近年の高速動作および多ビット化が進むLSIでは,パッケージリードの微小なインダクタンスに起因する同時切換ノイズが顕在化している.このノイズを予測するためには,リードインダクタンスを含めたLSIの正確な電気的モデル化が必要であり,リードインダクタンスの実測評価が課題となっていた.このようなnHオーダのインダクタンス測定では,測定プローブに起因する寄生インダクタンスが測定精度を低下させる原因となるため,4端子対LCRメータ測定を対象とした低寄生インダクタンスプローブを新たに作成して,その誤差要因の解析および測定による精度の確認を行った.LCRメーターによる測定では,測定のために電流印加系および電圧検出系はそれぞれサンプルを含めて閉ループを構成する必要があり,サンプル付近の経路を垂直に配置することにより約5%以内の誤差でインダクタンス測定が可能であることを示した.