すべり弾性表面波センサを用いた液体試料の識別

近藤 淳  塩川 祥子  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J78-C2   No.1   pp.54-61
発行日: 1995/01/25
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DOI: 
Print ISSN: 0915-1907
論文種別: 論文
専門分野: 電子計測・制御
キーワード: 
すべり弾性表面波,  音響電気相互作用,  周波数-センサ感度特性,  液体試料識別,  

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あらまし: 
圧電結晶上を伝搬するすべり弾性表面波(SH-SAW)は,ひずみ波と圧電効果による圧電ポテンシャルが結合した波である.従って,SH-SAWはひずみに影響を及ぼす現象だけでなく,圧電ポテンシャルに影響を与える現象(音響電気相互作用)も検出可能である.36度回転Y板X伝搬LiTaO3基板によるSHタイプの弾性表面波は,電気機械結合係数が大きいため音響電気相互作用が強く,液体の電気量(比誘電率,導電率)を検出するのに適している.本論文では,音響電気相互作用に対するセンサ感度の周波数依存性に着目し,周波数の異なるSH-SAWデバイスを複数用いたセンシングシステムにより液体の識別を行うことを提案した.具体的には,11種類の果汁100%清涼飲料水および13種類のウイスキーの識別を行い,選択性有機薄膜を用いなくても高正解率で識別できることがわかった.