水晶基板におけるラブ波形弾性表面波の伝搬特性

礒部 敦  疋田 光孝  浅井 健吾  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J78-C1   No.11   pp.587-592
発行日: 1995/11/25
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DOI: 
Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 特集論文 (圧電デバイス論文特集)
専門分野: 弾性表面波デバイス,センサ
キーワード: 
弾性表面波,  水晶,  Love波,  温度特性,  

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あらまし: 
弾性表面波デバイス用圧電基板として,LSTカット水晶基板は温度特性が優れ,伝搬損が小さい.しかし基板表面の金属電極膜が厚くなるに従い,伝搬損が増加する欠点がある.また,電気機械結合係数が小さい.本論文は,金属電極膜が存在する状態で,温度安定性が優れ,伝搬損が小さく,電気機械結合係数が大きい水晶基板のカット角の探索を行ったものである.LSTカット近傍の回転Yカット基板では,電極材料に金を用い,SAWの伝搬方向をX軸からずらすことにより,SAWの伝搬モードが漏洩弾性表面波から,理論的に伝搬損が発生しないLove波形弾性表面波に変化し,電気機械結合係数が最大0.5%と大きくなることをシミュレーションで示す.また,2次の温度係数がSTカット水晶基板と同程度であることを実験により示す.