弾性表面波マイクロセンサ

塩川 祥子  近藤 淳  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J78-C1   No.11   pp.573-579
発行日: 1995/11/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 招待論文 (圧電デバイス論文特集)
専門分野: 弾性表面波デバイス,センサ
キーワード: 
水晶微少質量センサ,  弾性表面波センサ,  すべり弾性表面波センサ,  すべり板モードセンサ,  たわみ板モードセンサ,  

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あらまし: 
弾性波マイクロセンサは,振動体表面上の物質の物理・化学的変化を実時間で高感度に検出できることがわかり,さまざまな分野に応用されはじめている.振動・波動モードによって種々の弾性波マイクロセンサがあるが,更に新しいタイプのセンサが提案され,新たな知見と応用が報告されている.本論文では,はじめに弾性波マイクロセンサの開発の現状を示し,各センサの比較・検討・評価を行った.次に筆者の研究している36度回転Y板X伝搬LiTaO3を用いたすべり弾性表面波(SH-SAW)マイクロセンサの基礎特性を示し,このセンサが広い分野で利用できることを示した.更に,周波数の異なる複数のSH-SAWセンサを用いると,人間の感覚では識別できない液体試料でも,高い識別率が得られることを13種類のウイスキーの例により示した.