圧電セラミック円柱形振動ジャイロの振動モード解析

阿部 洋  吉田 哲男  中村 僖良  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J78-C1   No.11   pp.567-572
発行日: 1995/11/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 特集論文 (圧電デバイス論文特集)
専門分野: 圧電ジャイロ・超音波モータ
キーワード: 
角速度センサ,  屈曲振動,  振動ジャイロ,  圧電振動子,  圧電セラミック,  

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あらまし: 
圧電セラミック単体の円柱の外周面に駆動・検出用交差指電極を設けた屈曲形圧電振動ジャイロについて,モード軸のずれを考慮して等価回路を導出し,これによるインピーダンス特性の計算値を実測値と比較することにより,振動子固有の振動モード軸の方向が推定できることを明らかにする.また推定される固有振動モード軸のうち共振周波数の高いモード軸の位置にレーザ照射により溝加工を施せば,二つの振動モードを縮退させることができ,静止時出力の小さい高性能な振動ジャイロを構成することが可能になることを示す.