LiNbO3結晶を用いたLamモード圧電振動子

中村 僖良  熊坂 克典  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J78-C1   No.11   pp.494-499
発行日: 1995/11/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 特集論文 (圧電デバイス論文特集)
専門分野: バルク波デバイス
キーワード: 
ニオブ酸リチウム,  圧電トランス,  圧電デバイス,  圧電振動子,  

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あらまし: 
支持の容易な圧電振動子がさまざまな応用に要求されている.本論文では,ニオブ酸リチウム結晶155°回転Y板から切り出した辺比が整数比の方形板に,四隅が振動の節となるLamモードが存在することを明らかにすると共に,この振動モードが圧電的に強勢に励振可能なことを,振動解析ならびに容量比などの等価回路定数計算により示す.更に,試作したLamモード振動子のインピーダンス特性,変位分布,容量比などを測定し,ほぼ理論と一致する結果が得られることを示す.また,本振動子が四隅の支持による共振周波数やQの変化が少ないことも実証する.