圧電体の電気機械結合係数測定法に試料形状が与える影響―電極面が傾いている場合―

安達 裕  竹中 正  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J78-C1   No.11   pp.488-493
発行日: 1995/11/25
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Print ISSN: 0915-1893
論文種別: 特集論文 (圧電デバイス論文特集)
専門分野: バルク波デバイス
キーワード: 
圧電体,  電気機械結合係数,  アドミタンス周波数特性,  有限要素法,  

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あらまし: 
圧電体の基本的特性の一つである電気機械結合係数kは,通常アドミタンス周波数特性から求められる.しかし,アドミタンス周波数特性は試料形状が測定に大きな影響を与えることが知られている.本研究では,試料の電極面が傾いたときの影響について,有限要素法を用いて解析し,更に実験によってそれらを確かめた.解析の結果,方形板の伸び振動(31)モード,棒の伸び振動(33)モードおよび円板の広がり振動(p)モードのすべてのモードで電極面が傾くと結合係数が減少することがわかった.また横効果である(31)モードおよび(p)モードでは電極面が傾いてもスプリアスは混在しなかったが,縦効果である(33)モードではスプリアスが混在することがわかった.また,実験によっても同様の傾向が確かめられた.