有機物バリヤを用いた高温超伝導トンネル接合の作製と特性

岡部 寛  守屋 雅隆  宇佐美 興一  小林 忠行  後藤 俊成  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J76-C2   No.6   pp.385-390
発行日: 1993/06/25
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Print ISSN: 0915-1907
論文種別: 特集論文 (高温超伝導エレクトロニクス論文小特集)
専門分野: 積層型接合・トンネル接合
キーワード: 
酸化物高温超伝導体,  トンネル接合,  有機物絶縁体,  ジョセフソン電流,  

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あらまし: 
本研究では有機物ヘキサメチルジシラン(Hexamethyldisilane:HMDS)を用いることにより,酸化物高温超伝導体/HMDS/金属超伝導体接合を作製した.初めにYBCO薄膜を直流ホロー陰極スパッタ法,またはrf off-axisスパッタ法により成膜し,続いてHMDSを膜に吸着させた.HMDSは吸着させた場合1分子層(1nm程度)の膜を形成する.その後,対向電極としてPb(Tc=7.2K)を蒸着した.このようにして作製したトンネル接合の電流-電圧特性を測定した結果,エネルギーギャップ構造とジョセフソン電流が観測された.また,このジョセフソン電流のマイクロ波応答と磁界依存性を観測した.