多結晶シリコンTFTと駆動回路内蔵技術

大島 弘之  松枝 洋二郎  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J76-C2   No.5   pp.227-234
発行日: 1993/05/25
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DOI: 
Print ISSN: 0915-1907
論文種別: 特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
TFT,  LCD,  多結晶シリコン,  駆動国路,  

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あらまし: 
多結晶シリコンTFTは周辺駆動回路を一体形成することにより,小形で高精細のLCDを実現できる.また,プロセスの低温化により安価なガラス基板を用いることができれば大形LCDにも応用できる.本論文では,多結晶シリコンTFTのデバイスプロセス技術の現状と今後の課題についてまとめる.また,具体的なTFT回路の構成について紹介し,内蔵駆動回路の性能について説明する.