SH-SAWデバイスを用いた溶液系センサ

近藤 淳  塩川 祥子  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J75-C2   No.5   pp.224-234
発行日: 1992/05/25
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Print ISSN: 0915-1907
論文種別: 論文
専門分野: 電子計測・制御
キーワード: 
SH-SAWデバイス,  溶液系SAWセンサ,  粘性効果,  質量負荷効果,  電気的摂動,  

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あらまし: 
弾性表面波(SAW)は,伝搬面上が変化すると伝搬特性が変化するという性質をもつ.この現象を利用するとSAWセンサが実現できる.一般的なSAWとして知られるRayleighモードは,気相センサとして用いることができるが,伝搬面上に液体が負荷されると,液体中に縦波を放射し減衰するため,液相センサとして用いることができない.液相センサを実現するには,粒子変位が伝搬方向に垂直で伝搬面に平行なSHモードを用いる必要がある.圧電結晶である36度回転Y板X伝搬LiTaO3やX板150度伝搬LiTaO3上を伝搬するSAWは,SHモードのSAW(SH-SAW)であることが報告されている.これらの圧電結晶を用いたSH-SAWデバイスは,液体の粘性率や液体中での質量負荷などの機械的影響だけでなく,液体の誘電率,導電率などの電気的影響も検出可能であることを,本論文で理論的・実験的に明らかにした.また,他の高周波超音波デバイスを用いた溶液系センサと比較することにより,SH-SAWデバイスの特徴を明らかにした.