平板マイクロレンズとSiガイド孔を用いた半導体レーザと光ファイバアレーの結合

小西 秀広  伊賀 健一  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J75-C2    No.1    pp.46-48
発行日: 1992/01/25
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Print ISSN: 0915-1907
論文種別: レター
専門分野: 
キーワード: 
平板マイクロレンズアレー,  (100)Siガイド孔,  異方性エッチング,  半導体レーザ,  光ファイバアレー,  

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あらまし: 
プレーナ技術で製作できる,平板マイクロレンズアレーと(100)Si単結晶を精密加工したガイド孔を用いて,半導体レーザと光ファイバアレーとを結合する方法について提案し,光学的実験を行った.