光・プラズマCVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用

柴田 登  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J75-C2    No.12    pp.773-775
発行日: 1992/12/25
Online ISSN: 
DOI: 
Print ISSN: 0915-1907
論文種別: レター
専門分野: 
キーワード: 
光CVD法,  プラズマCVD法,  損傷効果,  太陽電池,  反射防止膜,  

本文: PDF(156.4KB)>>
論文を購入



あらまし: 
光CVD法(水銀増感)およびプラズマCVD法によるSiNxOy膜を生成し単結晶シリコン太陽電池の反射防止膜(ARC)として応用した.実験より太陽電池特性の改善率において光CVD法のほうが優れた結果を得たのでその原因について報告する.