磁性半導体フェライトを用いたマルチセンサモジュール

関 享士郎  長田 洋  恒川 佳隆  志田 純一  村上 孝一  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J72-C2    No.3    pp.204-209
発行日: 1989/03/25
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Print ISSN: 0915-1907
論文種別: 論文
専門分野: 部品
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磁性半導体に属する材料としていくつかの化合物が知られているが,これらは室温以下にキュリー温度を有しているため,応用的見地からあまり注目されていない.磁性半導体フェライト(MSF)は室温で強磁性を示し,半導性抵抗と誘電性を有している.MSFの磁気特性は温度に依存するが,湿度とガス濃度に依存しない.抵抗はサーミスタに類似した温度特性と湿度特性を示す.また,誘電率は温度と湿度および燃焼性ガス濃度に依存する.これらの特性の応用として温度,湿度およびガスセンサを組み込んだマルチセンサモジュールを構成した.従来の方式では測定量の種類に対応したセンサを必要とするが,本システムは1個のMSFで温度,湿度および燃焼性ガス濃度を検出できるため,センサの数が少なくて済み,装置が簡略になる利点がある.また,これらの測定量はそれぞれ高周波に変換されるためディジタル計測に適している.