アンテナ結合型点接触ショットキーダイオードによるCH3OHおよびCO2レーザ光の検出

井上 成美  安岡 義純  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J69-C   No.5   pp.571-579
公開日: 1986/05/25
Online ISSN: 
DOI: 
Print ISSN: 0373-6113
論文種別: 論文
専門分野: マイクロ波
キーワード: 


本文: PDF(668.4KB)>>
論文を購入




あらまし: 
抵抗率の異なった5種類のn形Geを用いてアンテナ結合型点接触ショットキーダイオードを製作し,これらにCH3OHレーザ光およびCO2レーザ光を照射して検出電圧を測定した.その結果,それぞれのレーザ光に対して5×1017cm-3および1016cm-3のキャリア密度をもった材料を使用したとき,最大の検出感度が得られることを見いだした.この実験結果は,遠赤外および赤外周波数領域におけるアンテナ特性,ウィスカー金属の導電率,半導体の広がり抵抗,および表皮効果等を考慮した等価回路モデルから求めた検出電圧の式による計算結果とも一致し,アンテナ結合型ショットキーダイオードの最適化設計において,そのキャリア密度の決定に関する指針を得た.