TiO2/SiO2多層膜反射鏡を用いたGaAs面発光レーザの室温パルス発振

木下 進  小林 高広  坂口 孝浩  小田川 哲史  伊賀 健一  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J69-C   No.4   pp.412-420
公開日: 1986/04/25
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Print ISSN: 0373-6113
論文種別: 論文
専門分野: 光・量子エレクトロニクス
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あらまし: 
これまでGaAs系面発光レーザでは共振器端面の高反射率化を図る目的で光出射側反射鏡にAu蒸着膜を用いていたが,Au蒸着膜では光の吸収があるため出力効率を極端に小さくしないで得られる反射率として85%程度が限度であった.そこで,本論文では光出射側反射鏡にTiO2/SiO2誘電体多層膜反射鏡を取り上げ,まず,装置の設計・製作を行なったのち,GaAs基板上に5対のTiO2/SiO2膜を形成して,その反射率特性を評価した.試料の反射率はGaAsレーザの発振波長である0.88μmでピーク反射率90%を得た.次に,実際に5対のTiO2/SiO2誘電体多層膜を面発光レーザに形成してそのレーザ特性を測定したところ室温パルス動作の下でしきい値電流は400mAであった.