高集積ダイナミックRAMのビット線容量の測定

小西　康弘
藤島　一康
吉原　務

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J69-C    No.12    pp.1560-1562
公開日: 1986/12/25
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Print ISSN: 0373-6113
論文種別: レター
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あらまし: 
1Mbit DRAM相当のディメンジョンを持つテストデバイスを数種作成し，測定したビット線容量を容量網モデルにより成分別に分解して，ビット線間隔の大小やパッシベーション材質の違いによる影響を明らかにした．