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高集積ダイナミックRAMのビット線容量の測定
小西 康弘 藤島 一康 吉原 務
誌名
電子情報通信学会論文誌 C
Vol.J69-C
No.12
pp.1560-1562 公開日: 1986/12/25 Online ISSN:
DOI: Print ISSN: 0373-6113 論文種別: レター 専門分野: キーワード:
本文: PDF(228.1KB)>>
あらまし:
1Mbit DRAM相当のディメンジョンを持つテストデバイスを数種作成し,測定したビット線容量を容量網モデルにより成分別に分解して,ビット線間隔の大小やパッシベーション材質の違いによる影響を明らかにした.
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