すだれ状電極で分極した圧電セラミック基板の平行平板電極によるSAW励振

清水 康敬  清水 徹  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J68-C   No.7   pp.532-539
公開日: 1985/07/25
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Print ISSN: 0373-6113
論文種別: 論文
専門分野: デバイス一般
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あらまし: 
本論文では,すだれ状電極(IDT)で分極した圧電セラミック基板(PZT)を用い,平行平板電極によるSAW励振法を提案し,この励振法を用いたSAWフィルタの実験的検討を行った.本励振法は,表面をIDTで分極した圧電セラミック基板に新たに基板の表裏に平行平板電極を作製し励振電極とするもので,IDTで永久分極を行う際の分極電圧を高くすると分極部分の等価的な電気機械結合係数K2,圧電体層の等価的厚さdeffが増加するという性質を持つ.本実験では16kV/mmの分極電界で分極部分の等価的K2は8~9%となり,同じ基板における従来の分極法によるK2=2.25%よりも大きい結果となった.また,本励振法のこのような評価には,励振構造を考慮しスミスの等価回路を改良した新しい等価回路を導出し,実験値と比較した結果良い一致をみた.さらに,この等価回路を用いて挿入損の小さいフィルタの設計を行った.