ディジタル化電子なだれ注入装置の試作とSiO2中の捕獲中心面密度分布の新しい算出法

羽路 伸夫  浅田 邦博  菅野 卓雄  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J66-C   No.12   pp.1064-1071
公開日: 1983/12/25
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Print ISSN: 0373-6113
論文種別: 特集論文 (LSI特集)
専門分野: 微細化デバイス
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あらまし: 
帰還回路をディジタル化することにより安定に動作する電子なだれ注入装置を試作し,更に一定電流注入のための非線形制御による帰還制御アルゴリズムを開発している.本システムを用いることにより注入電流は数分で設定電流値の1%以内に落着くことを確めている.本装置ではCV特性の測定を電子なだれ注入測定中に割込んで実行する機能を有し,測定データはすべてミニフロッピーディスクに記憶し,データの計算機処理を容易ならしめている.また,捕獲断面積が連続的に分布したモデルでの捕獲中心面密度の算出法を提案し,これを用いて実測値より捕獲中心面密度分布を算出し,その有用性を明らかにしている.本方法の特徴は算出された捕獲中心面密度分布の信頼区間が明らかになることであり,更に捕獲断面積と捕獲中心面密度分布の両方を同時に精度よく決定することは困難であることを指摘し,研究目的に応じて分解能を設定する必要のあることを述べている.