光励起DLTS法による少数キャリヤトラップの測定

滝川　正彦  生駒　俊明  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J64-C   No.1   pp.32-38
公開日: 1981/01/25
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Print ISSN: 0373-6113
論文種別: 論文
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あらまし: 
禁制帯幅より小さいエネルギーを持つ光を用いる“光励起”DLTSでは，過渡応答の振幅P（T）に温度依存性があるため，そのスペクトルが多数キャリヤトラップDLTSスペクトルと異なり，従来の解析法を用いたのでは深い準位の活性化エネルギーEt，捕獲断面積σtが正しく求まらないことを指摘した．そこで，P（T）の温度依存性を考慮し，“光励起”DLTSスペクトルから少数キャリヤトラップのEtとσtを求める方法を提案した．これらの方法をGaAs p+n接合中のFe準位のEt，σtの導出に適用し，その結果を注入DLTSで得られた結果と比較することによって，その正当性を確認した．更に検出感度，測定可能準位を励起光エネルギーの関数として与え，それらを従来のDLTS法と比較，検討をし，“励起光”DLTSを少数キャリヤトラップの測定手法として確立させた．