伝送姿態差によるガラス薄膜の屈折率と膜厚の測定

末松 安晴  佐々木 豊  野田 秀樹  浅井 英一  白田 光有  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J55-C   No.2   pp.98-105
公開日: 1972/02/25
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Print ISSN: 0373-6113
論文種別: 論文・資料
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あらまし: 
光集積回路などに用いる誘電体薄膜伝送路では,誘電体薄膜の屈折率と膜厚の測定が重要になる.そのため,本論文ではまず誘電体薄膜に沿って伝送される光波の各姿態の伝搬定数ならびに群速度を求めた.これらの伝搬定数は薄膜の屈折率と膜厚の二つのパラメータにより決められる.したがって,二つ以上の姿態の伝搬定数を測定することにより,屈折率と膜厚が同時に求められる.実験では,高周波スパッタにより作った各種のガラス薄膜を用い,伝搬定数はプリズム結合器への入射角を測定することにより求めた.その結果,屈折率は,約0.1%,膜厚は,約2%以内の誤差で測定された.